High Density Plasma Sources. Design, Physics and...

Main
Engineering
High Density Plasma Sources. Design,...

High Density Plasma Sources. Design, Physics and Performance

Name: High Density Plasma Sources. Design, Physics and Performance
ISBN: 9780815513773

Oleg A. Popov (Eds.)

0 / 0

0 comments

คุณชอบหนังสือเล่มนี้มากแค่ไหน

คุณภาพของไฟล์เป็นอย่างไรบ้าง

ดาวน์โหลดหนังสือเพื่อประเมินคุณภาพของไฟล์

คุณภาพของไฟล์ที่คุณดาวน์โหลดมาเป็นอย่างไรบ้าง

Content:
Preface, Pages vii-xii, Oleg A. Popov
Contributors, Pages xiii-xiv
1 - Helicon Plasma Sources, Pages 1-75, Francis F. Chen
2 - Planar Inductive Sources, Pages 76-99, John C. Forster, John H. Keller
3 - Electrostatically-Shielded Inductively-Coupled RF Plasma Sources, Pages 100-148, Wayne L. Johnson
4 - Very High Frequency Capacitive Plasma Sources, Pages 149-190, Michael J. Colgan, M. Meyyappan
5 - Surface Wave Plasma Sources, Pages 191-250, Michel Moisan, Joëlle Margot, Zenon Zakrzewski
6 - Microwave Plasma Disk Processing Machines, Pages 251-311, Jes Asmussen
7 - Electron Cyclotron Resonance Plasma Sources, Pages 312-379, James E. Stevens
8 - Distributed ECR Plasma Sources, Pages 380-425, Jacques Pelletier
Index, Pages 426-445

หมวดหมู่:

Engineering

ปี:

1995

สำนักพิมพ์:

Noyes Publications

ภาษา:

english

จำนวนหน้า:

453

ISBN 10:

0815513771